Вакуумная установка магнетронного напыления, бук-75

Вакуумная установка для магнетронного, лазерного и др. напыления тонких плёнок.
Вакуумная камера

• размер ф50х60 см

• Цилиндрическая форма

• крышка верхняя

• вакуумные окна ф50 мм

• нержавеющая сталь, электрополировка внутренних поверхностей камеры

• съёмные экраны из нержавеющей стали внутри камеры

• установлена на раме из нержавеющей стали с талью для подъёма крышки

• водоохлаждаемая камера

• набор внутрикамерных устройств (токовводы, устройства позиционирования и т.п.).
• Магнетрон круглый с мишенью ф50 мм – 1 шт

• косвенное охлаждение мишени
• сбалансированная магнитная система

• Магнетрон эллиптический с мишенью 50*450 мм – 1 шт

• косвенное охлаждение мишени
• сбалансированная магнитная система

• Блок питания магнетрона
1 шт - Блок питания постоянного тока 0,4 кВт.

• Откачная система

Турбомолекулярный насос
• Форвакуумный насос

• Дополнительное оборудование

• Вращаемый столик диаметром 15 см, 20 об/мин

подача потенциала смещения на подложкодержатель
планетарный механизм на 3 планеты по 5 см

• Широкодиапазонный вакуумметр, 1 атм - 1х10-9 торр

• Регулятор расхода газа, 100 ст.куб.см/мин,

3 регулятора расхода газа

• Измерение толщины напыляемого слоя с помощью кварцевого датчика (кварцевые микровесы)

•Система управления

• полуавтоматическое управление (автоматическая откачка, ручное напыление)

Здесь можно купить Вакуумная установка магнетронного напыления, бук-75 в г. Москва по цене 75000 руб. за шт.
На Энергопортал.ру представлено 180 позиций беспроводных средств передачи данных. Выберите лучшее предложение в нашем каталоге!

Цена действительна до 02.08.2023 г., после чего стоимость необходимо уточнить у поставщика.